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表面清洁度分析仪Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M
LCD系列表面清洁分析仪为美国科诺研制的行业性分析仪器,可在分析测试水滴在液晶屏、晶圆(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基础上,进而分析Plasma效果,是一种基于界面化学分析系统的表面清洁度测试系统。
本系列表面清洁度分析仪由仪器主机和CAST™2.0水滴角分析软件两个部分组成。根据样品台移动方式不同,我们将仪器主机分为自动(LCD1000A)、手动(LCD1000M)两种。样品台尺寸及其控制行程可根据客户要求定制。我们为广大客户提供性能,价格zui合理的仪器以及*化的产品,期盼为客户的研发与品质控制提供*的服务保证。
一、LCD系列表面清洁分析仪的产品优势:
1、人性化的设计,操作简单;
→选购自动*,可完成自动进液控制,精度可达0.02uL
→自动修正镜头倾斜角度以及水平线倾斜角度
→按测试,软件自动完成拍照、分析敏感点、计算角度值
2、全区域测试,可支持各种规格面板
→480*480(LCD-400S)
→750*750(LCD-700S)
→900*700(LCD900S)
→1400*1400(FPD)
3、数据库管理技术
→历史数据可查询
→可导出为EXCEL文档及BMP图片
→可录相AVI格式,供制作PPT所用
4、CAST2.0具有多项技术
→多达6种以上接触角计算办法
→多达12种固体表面自由能估算模型
→支持曲面校准技术
→支持粘附功计算、WBA分析等
二、LCD系列表面清洁分析仪的功能实现:
1、测试前:
(1)通过调整进样器前后、左右、上下移动(XYZ)及镜头俯仰角度和升降(Z向),实现调整焦距的目的。
(2)通过控制导轨前后、左右移动(XY),将*移动至角落后,以方便装样。
2、测试过程中:
(1)通过导轨前后、左右方向(XY)的移动控制,实现样品上不同点的水滴角度值的测试;
(2)通过移动进样器升降移动(Z向),完成液滴移液过程(将水液滴转移到液晶屏上);
(3)通过进样器注出液滴,进行角度分析,精度可达0.02uL。
3、测试实现方法:
(1)通过相机捕捉液滴在液晶屏上的图片后,分析敏感点,计算得出角度值;
(2)计算办法:θ/2法(WH法)或圆拟合法;
(3)软件对镜头的俯视角度进行适当的修正,以期实现更精确的测量。
三、技术参数:软件分析基于CAST2.0分析系统
| LCD1000A | LCD1000M | ||
全自动型 | 手动型 | |||
主机 | 主机 | 概述 | 自动控制样品台 | 手动控制样品台 |
镜头水平X移动 | 自动:600mm 或更大行程 精度:0.01mm | 手动:600mm或更大行程 精度:0.1mm 带手柄 | ||
镜头水平Y移动 | 自动:600mm或更大行程 精度:0.01mm | 手动:600mm或更大行程 精度:0.1mm带手柄 | ||
镜头上下Z1移动 | 自动:25mm 精度:0.01mm | 手动:25mm 精度:0.01mm | ||
镜头倾斜调整 | 手动 | 手动 | ||
样品台水平 | 手动 微调 | 手动 微调 | ||
进样器控制XY | 手动 12.5mm 0.01mm 精度 | 手动 12.5mm 0.01mm 精度 | ||
进样器控制Z | 自动 25mm 0.01mm精度 | 手动 25mm 0.01mm精度 | ||
整机升降控制Z2 | 自动 25mm 0.01mm精度 | 手动 25mm 0.01mm精度 | ||
水平调整 | 手动微调控制样品台水平 | |||
样品台 | 600*600mm 或更大 | |||
进样器 | 自动进样* | 手动进样* | ||
进样器焦距调整:手动 | ||||
光学CCD成像系统 | USB口视频捕捉设备 25帧/秒工业黑白CCD相机 10-50倍连续放大工业镜头 | |||
光学系统调整 | 一维水平角度调整机构 | |||
光源系统 | 可调亮度单色冷光LED光源,水滴角图像边缘更清晰 | |||
通讯接口 | 主机控制及视频系统控制均采用USB2.0通讯接口,兼容性更好、速度更快 | |||
软件 系统 | 水滴角计算方式 | 全自动计算 按“测试”,软件自动完成拍照、分析敏感点、计算水滴角值三个动作 | ||
水滴角计算办法 | 共6种:*提供θ/2法、真实液滴法、圆拟合法、椭圆拟合法、曲线尺法,全面适用于分析动/静态水滴角值 | |||
液滴形态 | 5种分析液滴形态:停滴(2、3态)、悬滴、气泡虏获法以及插板法,多种液滴形态均可适用 | |||
随时间变化水滴角测试 | 25帧/秒随时间变化水滴角测试,提供软件触发技术 | |||
动态水滴角分析 | 前进角/后退角分析 | |||
表面自由能估算 | *提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman临界表面张力法等共12种表面自由能估算方法,不但能分析低能固体表面,也能分析高能固体表面,以及他们的分布(色散力、极性力、氢键值、路易斯酸碱等)。 | |||
粘附功计算 | 软件自动分析 | |||
ü 自动曲面修正:上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正; | ||||
ü 自动水滴角值计算(θ/2 法)和人工计算水滴角值法切换 | ||||
ü 左右水滴角值计算与比较,平均水滴角计算 | ||||
ü 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能 | ||||
ü 自动生成曲线图 | ||||
ü 强大的数据库管理功能:备份、压缩、导出EXCEL表格 | ||||
ü 自动液滴量估算 |