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ES01-PV是针对光伏太阳能电池研发和质量控制领域推出的高性能光谱椭偏仪。
ES01-PV用于测量和分析光伏领域中多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和物理参数(如,折射率n、消光系数k),典型样品包括:绒面单晶和多晶太阳 电池上的单层减反膜(如SiNx,SiO2,TiO2,Al2O3等)和多层减反膜(如,SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx /Al2O3 等),以及薄膜太阳电池中的多层纳米薄膜。
粗糙绒面纳米薄膜的高灵敏测量
*的光能量增强技术、高信噪比的探测技术以及高信噪比的微弱信号处理方法,实现了对粗糙表面散射为主和极低反射率为特征的绒面太阳电池表面镀层的高灵敏检测。
晶体硅多层减反膜检测
专门针对多层薄膜检测而设计,可满足晶体硅太阳能电池领域中的双层膜,如(SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx /Al2O3等)的检测。
秒级的快速测量
*的快速椭偏采样方法、*的关键部件、自动化的测量软件,在保证高精度和准确度的同时,可在10秒内快速完成一次测量。
一键式仪器操作
对于常规操作,只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、建模、拟合和分析过程,丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求。
项目 | 技术指标 |
光谱范围 | 240nm-930nm(绒面测量时为350-850nm) |
单次测量时间 | 10s,取决于测量模式 |
膜厚测量重复性(1) | 0.05nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
折射率精度(1) | 1x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
入射角度 | 40°-90°自动调节 |
光学结构 | PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有*的准确度) |
样品台尺寸 | 一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品 |
兼容125*125mm和156*156mm的太阳能电池样品 | |
样品方位调整 | Z轴高度调节:±6.5mm |
二维俯仰调节:±4° | |
样品对准:光学自准直显微和望远对准系统 | |
软件 | •多语言界面切换 |
•太阳能电池样品预设项目供快捷操作使用 | |
•安全的权限管理模式(管理员、操作员) | |
•方便的材料数据库以及多种色散模型库 | |
•丰富的模型数据库 |
注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。