Harrick 气体流量控制器技术参数：

紧凑的台式设备、符合CE 安全标准

两个标准的气体流量计(0.104 scfh & 0.22 scfh)
真空压力传感器..............................热电偶真空计
压力表.............................................数字压力
压力范围..........................................1 -1999 毫托
气体通路..........................................可同时通2路气体
流量计1 ..........................................参考刻度值65mm（4~49 mL/min）
49 毫升/分钟的流量 大气（0 PSIG）*
流量计2 ...........................................参考刻度值65mm（10~104 mL/min）
104 毫升/分钟的流量 大气（0 PSIG）*
流量计精度....................................... 满刻度的± 2％
流量计工作压力/温度................ 200 PSIG / 250℉（121℃）
不锈钢气源输入接口......................... dia.6mm
不锈钢气源输出接口......................... dia.6mm
常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等