产品型号

  1700℃立式淬火炉GSL-1700X-80VTQ

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

1700度立式管式淬火炉主要特点

1、双层不锈钢壳体，并采用1800℃级高纯度氧化铝纤维绝热。

2、炉管配有绝热管堵，减少管内向外热辐射。

3、炉管顶部配装带有不锈钢针阀的密封法兰，底部配有闸板阀、真空计、KF25真空接口。

4、顶部法兰配有电磁铁，可悬挂质量约500g的样品，当按下温控单元上的电磁吸盘按钮时，样品就会坠入淬冷水箱内。

5、采用下置淬冷水箱，便于立即淬火。

6、采用与炉体分离式的独立温控单元，PID控制器，可设置30段升降温程序，并内置超温报警保护装置，以及  RS485通信端口。

7、已通过CE认证，所用电器元件（>24V）已通过UL、MET、CSA认证。

1700度立式管式淬火炉技术参数

1、电源：单相AC 220V   50Hz/60Hz  4KW

2、炉管：99.8%高纯度氧化铝管，内径Ø74mm，外径Ø80mm，长850mm

3、加热元件：4根1800℃级U型硅钼棒

4、加热区域：200mm

5、恒温区域：65mm，精度±5℃

6、工作温度：1700℃（<1h），连续工作800℃-1650℃

7、升降温速率：1200℃以上时为5℃/min，1200℃以下时为10℃/min

8、控温精度：±1℃

9、真空度：机械泵50mtorr，涡轮分子泵10-5torr

产品规格

尺寸：1080mm×650mm×1500mm；重量：190kg

标准配件

1.氧化铝管1根

2.氧化铝管堵4个

3不锈钢法兰1套

4热电偶1个

可选配件

1、PC控制软件

2、不锈钢卡套接头

3、分子泵

注意事项

1、在释放样品前，必须先向炉管内充入5psi氩气，再打开闸板阀。

2、硅钼棒是在高温氧化性气氛下使用的。在高温氧化气氛中，其表面生成一层光亮致密的SiO2玻璃膜，能够保护硅钼棒内层不再氧化。因此，不得在400℃-700℃之间使用，否则将会低温氧化致使毁坏。

3、气氛气体输入端必须装配减压阀。在连续通气时，输出压设置在3psi以下。若压力水平超过3psi将会对炉膛造成不可逆的损害。

4、如若炉内是正压条件，且未开启放气阀时，切勿进行加热。在加热过程中要实时观测真空计，一旦炉内压力  接近3psi，请立即打开放气阀，避免不可预见的损坏。

5、气体的流量应限于<200SCCM（200ml/min）。

6、氧化铝管的真空极限定义为：在管内温度达到1500℃时为止，皆视为安全真空压力范围。