产品名称

1200℃可倾斜旋转管式炉

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有三个冷却风扇，壳体温度<60℃。

2、采用高纯氧化铝纤维材料，具有*的保温性、节能性。

3、内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料，有效地提高反射率及炉膛洁净度。

4、采用上翻盖开启方式，操作更容易，且可快速冷却。

技术参数

1、电源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2、炉管旋转转速：0-7rpm

3、炉体倾斜角度：0-30°

4、加热区域：400mm

5、工作温度：1200℃（<2h），连续工作1100℃

6、控温精度：±1℃

7、产率：2kg/炉

8、真空度：4.5×10-2torr

9、泄漏率：<0.1mtorr/s

可选配件

1、310A不锈钢管（外径Ø60mm，内径Ø50mm，1220mm，工作温度800℃）

2、MTS-02控制模块