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TR-scan 3D光学非接触轮廓粗糙度仪产品介绍:
Trimos TRscan非接触式刀具微观形貌测量仪,全自动共焦三维测量。于刀具制造工业,根据多点谱线共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自动聚焦,快速获得刀具表面三维形貌,采用此次多点谱线共焦传感器和图像处理系统,可以对各种复杂的刀刃及其模具进行准确的测量,具有完善的分析功能模块,对其表面形貌进行轮廓、面积、体积、粗糙度、截面等测量。
TR-scan 3D光学非接触轮廓粗糙度仪特点:
强大的多点共焦技术,zui准确的测量出表面形貌数据(角度、半径、轮廓、粗糙度)
通过光学方式测量Ra、Rq、Rz等粗糙度参数
测量速度快,可整合成一个高效的在线测量系统
适用于陡峭的斜面,爬坡角度高达85度
垂直分辨率高达30nm
TRSCAN是*可同时获得表面形貌和真实颜色信息的3D测量设备,测量更加精确灵活
通过脚本自动测量,更适用于批量测量,并生成图形或数字报告
粗糙度和轮廓测量符合*EN/ISO4287标准
可用于选定区域的面积及体积计算
可选配转台,实现三维扫面
可用于复杂几何外形的形状分析,可测量角度、半径等表面特征
技术参数:
工作台移动范围X | 100mm | ||
工作台移动范围Y | 固定式 | ||
工作台移动范围Z | 240mm | ||
XYZ轴zui小位移量 | 0.1μm | ||
XYZ轴定位精度 | 1μm | ||
XY轴导轨直线度 | 1.5μm | ||
工件zui大重量 | 20kg | ||
测量原理 | 非接触式多点谱线共焦传感器 | ||
光源 | 白色LED共轴光,高强光,数字可控 | ||
色谱共焦传感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
线宽 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距离 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑间隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
测量范围 | 200μm | 950μm | 4mm |
轴向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度zui小分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
测量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |