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1、引言
VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
2、主要技术指标
电机功率:350W
电源:AC220V 50Hz
速度范围:500rpm-10000rpm
程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段
增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s
时间范围:0-60s
吸盘:Ø19mm、Ø60mm
本机可选配加热功能:加温范围RT-150℃; 加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟;温度单独控制,与主机程序控制无关联;
尺寸:450mm×280mm×340mm
重量:20kg