稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
4路校准气入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，5路输出口和1路排空口

稀释入口：1路标准；

源气入口：4路标准，1路吹扫；

稀释气质量流量控制：0-10SLM（0-20SLM可选）；

源气气质量流量控制：0-100SCCM/0-2SLM；

流量精度：≤±1%FS；

流量重复：≤±0.15%FS；

线    性：≤±0.5%FS；

入口压力：20-35 PSIG；

多路输出：标准6个输出口；

可选件：内置臭氧发生器

5SLPM下0.05-1.5ppm；1%SP或5SLPM下2ppb

紫外吸收光度计

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm

内置渗透管气体发生器

内置臭氧发生器参数：

输出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

内置紫外吸收光度计参数：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

线性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

内置渗透炉参数：

材质：玻璃或特氟龙；

内置臭氧发生器参数：

输出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

内置紫外吸收光度计参数：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

线性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

内置渗透炉参数：

材质：玻璃或特氟龙；