DL900  大量程超高纯气体稀释装置
根据标准ISO6145研制的热式质量流量控制器法的气体稀释装置，稀释范围从（100-10000）倍，流量输出（0.5-5）L/min，具有两元或多元稀释模式。装置中采用进口热式流量控制器，并经高精度流量计校准，流量偏差可控制在0.5%以内，重复性小于0.2%，线性拟合系数R2>0.9999，稀释装置精度小于2%。

装置优势：1、装置内部管线采用VCR与焊接相结合，具有非常好的密封性，可适用于高纯及超高纯气体稀释；

          2、装置稀释范围大，稀释比例可达105倍；
          3、节省载气 ，可在出口气体流量不变的情况下，进行高倍数稀释；
          4、允许稀释后气体有一定背压（0.5MPa以内），适合有进样压力要求的仪器使用。