小于5ml/min流量的微小液体流量计美国INTEK流量计利用电阻热流量测量采用2个电阻温度检测器(RTDs)测量流量。其中1个RTD测量流体温度，另一个RTD测量由流动液体来降温的低电压加热器温度。加热与未加热的RTDs间的温差提供了主要的流量信号。
    在较高流速时，加热的RTD的冷却效果增强，所以温差减少。差分信号与流速呈对数函数关系。因为冷却效果是流速的一个函数，所以不要求气体的补偿压力。 
    自1978年以来，这种测量技术已经在成千上万的装置中使用。RHEOTHERM技术使得zui精准热式流量计的技术日益*，并被*为微小流量的zhong极测量。小于5ml/min流量的微小液体流量计不介入式流量测量 ,准确小流量测量,无活动部件. 可重复流量测量, 没有或缩短的直管段,对低气体流速敏感, 具有本质安全型防爆.

准确的小流量测量，低压降。非入侵式流量传感器，低流动点设定，体积小 。基本免维护，防震动、防振颤，*可靠性。测量不受液体中夹带固体颗粒的影响 ，直通管传感器设计，无机械活动部件。

INTEK流量计内嵌传感器，压降小，流路通畅。无论是精确的实验室，苛刻的工厂里或者航空的极限运行，INTEK的内嵌传感器都有一种适合的、可靠的、久经考验的设计符合您的要求。

小于5ml/min流量的微小液体流量计标准不锈钢316接液管与大部分液体和气体兼容。对大部分腐蚀性液体，可用其他合金和金属。此传感器允许现场化学和蒸汽杀菌。电解抛光管可专门用于高纯度应用。

■ 应用TU/TUL传感器，具有无障碍流体通道

■ 不用维修维护；

■ 同一个流量计可以测量液体，也可以测量气体；

■ 超微流量测量。测量液体低可达10cc/天，测量气体zui低可达20sccm；

■ 一种流量计可以测量4中不同液体。

■ 使用简单，安装即用。