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1、SPDR介电测试夹具应用
QWED SPDR用于测量层状介电材料的复介电常数,包括LTCC衬底以及沉积在低损耗介电衬底上的铁电薄膜;还可用于测量各种导电材料(如商用电阻层,导电聚合物薄膜或高电阻率半导体)的表面电阻和电导率。这种测量仅适用于Rs> 5kΩ/平方的大型表面电阻样品。
2、SPDR介电测试夹具厚度为h的样品的测量精度
Δε/ε=±(0.0015 + Δh/h)
Δtanδ=±2*10-5 或 ±0.03*tanδ
3、工作频率范围
QWED SPDR使用特定谐振模式。此模式具有特定的谐振频率,具体取决于谐振器的尺寸,但在某种程度上还取决于被测样品的电特性。因此,每个设计的谐振器都只能用于特定的标称频率,并且实际测量是在接近标称频率的频率上进行的。
QWED SPDR基本的标称频率为:1.1 GHz,1.9 GHz,2.45 GHz,5 GHz,10 GHz和15 GHz。可以根据特殊要求制造其他频率在1.1至15 GHz之间的谐振器。
4、工作温度范围
-2700C 至 1100C
5、测量所需的其他设备
微波频率Q表或矢量网络分析仪
6、测量步骤
可测量空谐振器和带有研究样本的谐振器的谐振频率和Q因子。提供了软件来确定介电常数和介电损耗正切。配备安捷伦科技的PNA / ENA系列网络分析仪(带有Option 300的85071E材料测量软件)的用户,只需将QWED应用程序上载到网络分析仪中,并直接在其显示屏上获得终结果。
使用不同网络分析仪的用户需要在标准PC计算机或网络分析仪(如果装有Windows®操作系统)上安装用于介电特性计算的软件。
7、其他
样本的小大小取决于谐振器的工作频率。以下给出了谐振器常用工作频率对应的小样本尺寸。
根据工作频率确定的小样本尺寸
标称频率 [GHz] | 样品的小尺寸/直径 [mm] | 样品的*尺寸 [mm] | 样品的大宽度 [mm] | 样品的大厚度 [mm] |
1.1 | 120×120 / 120 | 130×180 | 150 | 6.0 |
1.9 | 70×70 / 70 | 70×100 | 100 | 4.1 |
2.45 / 2.5 | 55×55 / 55 | 70×80 | 100 | 3.1 |
5 / 5.1 | 30×30 / 30 | 40×50 | 90 | 1.95 |
10 | 22×22 / 22 | 30×50 | 90 | 0.95 |
15 | 14×14 / 14 | 20×30 | 40 | 0.6 |