Keithley2600B 系列 SourceMeter SMU 源表  

Keithley2600B 系列 SourceMeter SMU 源表

2600B系列系统数字源表源测量单元（SMU）仪表是业界电流/电压源 与测量解决方案，它是利用吉时利第三代源测量单元（SMU）技术建造的。2600B 系列产品包括单通道和双通道型号，集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表（DMM）、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案，大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。对于台式应用，2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件，支持即插即用I/V测试，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用，2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP)，可以运行仪器内存储的完整测试程序，实现业界吞吐量。在更大型的多通道应用中，吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作，实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元（SMU）仪表具有不需要主机的、*隔离的通道，因此，可以根据测试应用需求的进展，很容易进行重新配置和重新部署。

基于Java的即插即用I/V测试软件

2600B系列数字源表内置基于Java测试软件的源测量单元（SMU）仪表， 支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。这个*功能提高了研发、教育和QA/FA等各种应用的测试效率。只需通过附送的 LAN电缆，将2600B数字源表连接至互联网，打开浏览器，输入2600B的IP低至，即可开始测试。测试结果可以下载之电子数据表（如Excel），供进一步的分析和格式化，或者导入其他文档或演示文稿。

采用TSP技术，提供的吞吐量，适合自动测试

对于需要高自动化和吞吐量级别的测试应用来说，2600B数字源表的TSP技术提供了业界性能。TSP技术远远超越传统的测试命令序列……它*嵌入，然后，在源测量单元（SMU）仪器内部执行完整的测试程序。这实际上避免了所 有耗时的总线-PC控制器之间的通信，因此，大幅缩短整个测试时间。

通过TSP-Link技术，实现SMU-Per-Pin并行测试

TSP-Link是通道扩展总线，支持多 个2600B系列数字源表互连，成为一个单 一、严格同步的多通道系统。2600B的 TSP-Link技术与其TSP技术协同工作，支 持高速、SMU-per-pin并行测试。与大型 自动测试设备系统等其他高速解决方案 不同的是，2600B在无需主机成本或负担 情况下，实现了并行测试性能。基于TSP -Link技术的系统，还支持出众的灵活性， 可以根据测试需求的变化，迅速而容易 地对系统进行重新配置。

2400型软件仿真

2600B系列数字源表，与为吉时利2400 型数字源表源测量单元（SMU）仪表开发的测试代码兼容。这使得基于2400型数字源 表的测试系统更容易地升级至2600B系列， 并使测试速度提高高达80%。此外，它还提供了从SCPI编程转到吉时利TSP技术的过渡路径，实施后，可以进一步缩短测试时间。
为了全面支持遗留的测试系统，在这个模式下，还*支持2400型源存储清单测试序列。

第三代SMU设计，确保实现更快的测试时间

在早期2600系列仪器成熟的架构基础 上，2600B系列的源测量单元（SMU） 仪表设计从几个方面提高了测试速度。例 如，早期的设计采用的是并联电流量程调 节结构，而2600 B系列 的串联量程调节结构，这种结构具有更快 更平滑的量程变换过程和稳定速度更快的 输出。

2600B系列数字源表源测量单元 （SMU）仪表设计支持对各种负载使用 两种操作模式。在普通模式下，源测 量单元（SMU）仪表为大吞吐量提供 高带宽性能。在高电容模式下，源测 量单元（SMU）仪表使用较慢的带宽， 为较高电容负载提供鲁棒的性能。

简化半导体元件测试、验证与分析

可选配的ACS Basic版本软件实现了客户效率的大化，使客户可以在开发、质量认证或故障分析中，对封装器件进行特性分析。主要特性包括：

• 内容丰富、易于访问的测试库
• 脚本编辑器，实现现有测试的快速定制
• 数据工具，便于迅速比较测试结果
• 公式工具，便于分析俘获的曲线，并提供多种数据函数。

欲了解有关ACS Basic版本软件的更多信息，参见ACS Basic版本数据表。

强大的软件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用软 件以及可选配的ACS Basic版本软件，免 费Test Script Builder软件工具，可以 帮助用户创建、修改、调试和存储TSP测 试脚本。图1给出2600B系列数字源表软 件工具的主要特性。

2600B系列产品3个型号的双通道 台式数字源表，提供业界的价值 和性能

如果想调试设计问题，首先必须知道存在问题。每个设计工程师都要用大量的时间查找电路中的问题，如果没有合适的调试工具，这项任务耗时长、非常麻烦。

为了满足那些不需要系统级自 动化能力的应用需求，吉时利对2600B系 列数字源表进行了扩展，推出3中的 高性价比台式型号产品——2604B、2614B和 2634B。这些型号产品性能分别与2602B、 2612B和2636B相似，但它们不包括TSP Link、接触检查以及数字I/O能力。

完整的自动化系统解决方案

吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统，适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元（SMU），提供 创新的测量特性与系统灵活性，可以根据需求进行升级。其*的测量能力， 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件，为客户提供全面的应用 范围和特性，这是市场上竞争产品所不具备的。

技术指标适用的条件

本文介绍了2601B、2602B和2604B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些技术 指标是测试2601B、2602B和2604B依据的标准。在出厂时，2601B、2602B和2604B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内，适用于23°C，仅用作有 效信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。

这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A（2601B、2602B和2604B）或数字源表CHANNEL B（2602B和2604B）终端。
1. 23°C ±5°C，相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2：±(0.15 × 精度指标)/°C。
仅适用于普通模式，不适用于高电容模式。
大输出功率和源/宿极限3：每通道大40.4W。±40.4V@ ±1.0A，±6.06V@ ±3.0A，四项限源或宿操作。
电压调节：线：量程的 0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声：10Hz～20MHz：<20mV 峰-峰值（典型值），<3mV RMS（典型值），6V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限（柔度）。小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲：典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%～90%，电阻负载，大电流 极限/柔度。
保护偏移电压：典型值 < 4mV。电流 < 10mA。

电流源技术指标

电流编程精度

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7：±(0.15 × 精度指标)/°C。
大输出功率和源/宿极限8：每通道大40.4W。±1.01A @ ±40.0V，±3.03A @ ±6.0V，四项限源或宿操作。
电流调节：线：量程的0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限（柔度）。小值10 mV。精度与电压源 相同。
过冲：典型值<±0.1%（步进值=量程的10%～90%，电阻负载；其他测试条件，参见 “电流源输出稳定时间”部分）。

其它电源技术指标

瞬态响应时间：当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间 <70μs。
电压源输出稳定时间：在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的 时间。
100mV，1V量程：典型值<50μs
6V量程：典型值<100μs
40V量程10：典型值<150μs
电流源输出稳定时间：在固定量程上处理电源设置命令后达到终值0.1%所需的 时间。下列值适用于Iout × Rload = 1V，除非另行说明。
3A量程：典型值<80μs（电流小于2.5A，Rload >2Ω） 1A–10mA量程：典型值<80μs（Rload >6Ω）
1mA量程：典型值<100μs
100μA量程：典型值<150μs
10μA量程：典型值<500μs
1μA量程：典型值<2.5ms
100nA量程：典型值<25ms
直流浮动电压：输出电压可以从机架地电平高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11:
HI和SENSE HI之间的大电压=3V
LO和SENSE LO之间的大电压=3V

电压输出净空：
40V量程：大输出电压=42V – 电源引线上的总压降 （每条电源引线大1Ω）
6V量程：大输出电压=8V – 电源引线上的总压降 （每条电源引线大1Ω）
过温保护：内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲：<300mV + 较大量程的0.1%（典型值）。过冲输入一个 100kΩ负载，20MHz带宽。
电流源量程变化过冲：<较大量程的5% + 300mV/Rload （典型值，源稳定时间 设置为SETTLE_SMOOTH_100NA）。其他测试条件，参见“电流源输出稳定时间” 部分。

注

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可 参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下 降信息。
4. 对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电流极限精度指标上增加极*程的 0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可 参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下 降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可 参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下 降信息。
9. 对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和 极限设定值的±0.02%。对于100mV量程，要额外增加60mV的不确定值。
10. 当在1A量程下测量时，要增加150μs。
11. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。

脉冲技术指标

小可编程脉宽14,15：100μs。注：对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的 小脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率：1μs。
脉宽编 程精度 15：±5μs。
脉宽抖 动：2μs（典型值）。

订购信息

可选附件

线缆与接头

2600-BAN

香蕉测试导线/适配器线。用于单个260BA/2602B/2604B/2611B/2612B/2614B SMU仪表通道

2600-KIT

特制螺旋端子接头，带预紧缓冲和恢复功能，用于单个数字源表通道（2601B/2611B附带一个，2602B/2604B/2612B/2614B附带2个）

2600-TRIAX

三轴适配器。用于单个2601B/2602B/2611B/2612B SMU通道

7078-TRX- *

3槽、低噪声三轴线。用于2600-TRIAX适配器

7078-TRX-GND

3槽公三轴线到BNC适配器（去掉保护层）

8606

高性能模块化探针套件。用于2600BBAN

数字I/O、触发器链接和TSP-Link

2600-TLIN K

数字I/O到TLINK适配器线，长1米

CA-126- 1

数字I/O和触发器线，长1.5米

CA-180-3 A

用于TSP-Link和直接以太网连接

的CAT5交叉线（附带2个）

GPIB接口和线缆

7007- 1

双屏蔽GPIB线，长1m（3.3ft）

7007- 2

双屏蔽GPIB线，长2m（6.6ft）

KPCI-488LP A

用于PCI总线的IEEE-488接口/控制器

开关

Series 37 00

DMM/开关系统

707B

半导体开关矩阵主机

机架安装套件

4299-1

支持面板和背板的单机架安装套件

4299-2

支持面板和背板的双机架安装套件

4299-5

1U通风板

软件

ACS-BASIC

元件特性分析软件

质保期延长情况

2601B-EW

2601B延长一年质保期

2602B-EW

2602B延长一年质保期

2604B-EW

2604B延长一年质保期

2611B-EW

2611B延长一年质保期

2612B-EW

2612B延长一年质保期

2614B-EW

2614B延长一年质保期

2634B-EW

2634B延长一年质保期

2635B-EW

2635B延长一年质保期

2636B-EW

2636B延长一年质保期

校准和验证

2600-STD-RES

用于2634B，2635B和2636B的校准标准 1GΩ电阻