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四甲基氢氧化铵(TMAH),在电子行业中广泛用作TFT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂,同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展,PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序—显影,直接影响着线路品质及阻焊的品质,显影的品质要求不能有显影不净,不能有显影过度,不能有掉线和绿油脱落等,显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。
根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液调配稀释到目标浓度2.38%,需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量,已达到精确配置目标浓度显影液的目的。目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度,测量过程大概需要20分钟时间,该方式不具备实时性,过程管道的浓度变化无法及时监测到,导致调控滞后。为了提高生产量,显影液的配对效率需要提高,缩短配比的时间,需要在线实时对TMAH的浓度进行监控,完善工艺控制要求。采用临界角全反射原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求,且测量精度高。
四甲基氢氧化铵(TMAH)在线浓度计利用临界角全反射的原理测得溶液的R.I.,R.I.与TMAH溶液的浓度有*的对应关系。通过换算从而得到溶液的实际浓度。这种测量原理稳定性好,精度高,它适用于管道安装或容器壁处的安装,以及其它等多种安装方式。
MPRE-Scan 2.38TMAH在线浓度仪是根据临界角测量原理设计的一种新型连续在线监测仪,由于仪表的传感器检测元件与被测介质直接接触,且没有极化效应,故该仪表可广泛应用于半导体、TFT-LCD、化工、环保等工业液流中,连续在线测量TMAH、TMACL、H2O2、NAOH等强腐蚀性介质浓度,拥有一般浓度仪表*的优点。
2.38 TMAH在线浓度仪技术优势
超大TFT-LCD显示屏带超亮背光便于阅读。
多种信号输出4-20mA标准信号、RS485通讯接口(可选);
两组两级单稳型继电器可以控制外围(如风机、声光报警器)动作
多级校准——高精度,高稳定性,高灵敏度;
友好界面--中英文菜单可选,方便操作;
一键恢复功能,使您无须担心操作失误。
*传感器;
具有自动温度补偿、零点校正系统,自诊断功能;
多层腐蚀工艺处理,适用于各种工况;
两级声光报警,可自行设置高低报警点
多级密码保护功能,防止用户误操作。
2.38 TMAH在线浓度仪,世界上坚固的在线过程浓度仪的制造商,旨在为电子及半导体、纸浆和造纸,食品和化学加工行业提供安全,可靠,准确的测量和控制。