1.技术特征——非常适合工厂(效率高，操作傻瓜型，自动化程度高)和高校教学科研 (可靠性好，演示方便)

       采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除 曝光间隙，采用 350W 进口(德国)直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程 度很高，操作十分方便。

2．技术参数

l  曝光面积：4英寸

l  曝光波长：365nm

l  分辨力：0.8um

l  对准精度：±0. 8um

l  掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

l  掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l  样片尺寸：直径f10mm-- f100mm(各种不规则片)

  厚度0.1mm--5mm(可扩展为15mm)

l  曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

l  具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

l  照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）

l  双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

l  调平接触压力通过传感器保证重复

l  数字设定对准间隙和曝光间隙

l  具备压印模块接口，也具备接近模块接口

l  掩模相对于样片运动行程：

 X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

l  焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）

l  光源平行性：3.5 º

l  曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

l  单层曝光一键完成

l  采用球气浮自动找平

l  汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）

3．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）

4．配置

（1）曝光头

l  冷光椭球镜

l  350W进口直流高压汞灯(进口)

l  XYZ汞灯调节台

l  冷却风扇

l  光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2

（2）对准工件台

l  掩模样片整体运动台

l  掩模样片相对运动台

l  转动台

l  样片调平机构,自动完成

l  基片抽拉式上下机构

l  样片调焦机构，电机自动调

l  承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用户要求增减）

l  掩模夹4个：3英寸、4英寸、5英寸（可按用户要求增减）

（3）对准显微镜

l  光源（配备品2只）、 电源

l  双目双视场对准显微镜主体

l  目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

l  物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

l  CCD对准系统，21寸液晶显示器

（4）电控系统

l  汞灯触发电源(350W直流汞灯)

l  单片机控制系统

l  控制柜桌

（5）气动系统

l  气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

l  电磁阀驱动

l  气动仪表

（6）其他附件

l  真空泵一台

l  空压机一台

l  管道

（7）技术资料

l  使用维修说明书

l  显微镜使用说明书