1．技术参数

1）曝光面积：4英寸

2）曝光波长：365nm

3） 分辨力：1.5um（胶厚2 um的正胶）

4）对准精度：±1um

5） 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

7）样片尺寸：直径f15mm-- f100mm 

                    厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

8）曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

9）照明不均匀性： 5%（f100mm 范围）

10）双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：10倍、16倍、20倍

11）掩模相对于样片运动行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

12）汞灯功率：200W（直流）

13）曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（长）´600mm(宽) ´900mm（高）

3．配置

3.1. 曝光头

1）200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

2） XYZ汞灯调节台

3）光学系统

4）冷却风扇

3.2. 对准工件台

1）掩模样片整体运动台

2）掩模样片相对运动台

3）转动台

4）样片调平机构,手动

5）样片调焦机构，手动

6）承片台3个（f50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm  ）

7）掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

8）掩模抽拉式上下机构

3.3. 对准显微镜

9）光源（配备品2只）、电源

10）双目双视场对准显微镜主体

11）目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

12）物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

13）CCD（中国台湾）

14）21寸液晶显示器

3.4. 电控系统

1）汞灯触发电源(200W直流汞灯)

2）单片机控制系统

3）控制机箱 

3.5. 气动系统

1）气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2）电磁阀驱动

3）气动仪表 

3.6. 其他附件

1）真空泵一台

2）管道

3.7. 技术资料

1）使用维修说明书

2）显微镜使用说明书