1．技术参数

1）光面积：4英寸

2）曝光波长：365nm

3）分辨力：1.2um（胶厚2 um的正胶）

4）对准精度：±0.8um

5）掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

7）样片尺寸：直径f15mm-- f100mm(各种不规则片) 厚度0.1mm--6mm

8）曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

9）照明不均匀性： 3%（ f100mm  范围）

10）双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍

物镜三对：4倍、10倍、20倍

目镜三对：4倍、10倍、20倍

11）掩模相对于样片运动行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6º

12）焦厚：350mm（SU8胶，用户提供检测条件）     

13）光源平行性：3.5 º

14）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

15）汞灯功率：350W（直流，进口）

2．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）

3．配置

3.1. 曝光头

1）冷光椭球镜

2）350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

3）XYZ汞灯调节台

4）冷却风扇

5）光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

3.2. 对准工件台

1）掩模样片整体运动台

2）掩模样片相对运动台

3）转动台

4）样片调平机构, 手动

5）样片调焦机构，手动

6）承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

7）掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

8）基片抽拉式上下机构

3.3. 对准显微镜

1）光源（配备品2只）、   电源

2）双目双视场对准显微镜主体

3）目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

4）CCD及21英寸液晶显示器

5）物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

3.4. 电控系统

1）汞灯触发电源(350W直流汞灯)

2）单片机控制系统

3）控制箱

3.5. 气动系统

1）气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2）电磁阀驱动

3）气动仪表 

3.6. 其他附件

1）真空泵一台

2）空压机一台

3）管道

3.7. 技术资料

1）使用维修说明书

2）显微镜使用说明书