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产品型号 | 100W小型手动匹配型射频电源RF-100-LD |
技术参数 | 1、电源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、输入功率:5W-100W(可调),稳定性±1% 3、射频频率:13.56MHz,稳定性±0.005% 4、匹配:手动匹配 5、冷却:风冷 6、噪音:<50dB |
产品规格 | 尺寸:390mm×260mm×105mm |
可选配件 | 1、1"高真空磁控溅射头,可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。
2、同时购买100W射频发射器和1"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射 头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"。
3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。 |