MEGATORR真空计用电源显示器MS-1S,MS-2S

MEGATORR真空计用电源显示器MS-1S,MS-2S

焊接金属

焊接胶体作为一般真空设备、半导体制造装置中可动部分的真空保持和装置的排气管道而被大量使用。特别是为了保持装置可动部的真空，需要考虑安全性/气密性和耐久性，使用高品质金属的焊接金属。本公司的焊接金属在ISO 9001认证工厂进行管理、制造、检查，提供令人放心的高品质焊接金属。

石英制品

在半导体工程中使用的石英产品，特别要求品质严格。本公司经营的Wonk Quartz公司生产的石英制品是ISO 9002认证工厂生产的高质量、高精度的产品。备齐各种石英。

逆流防止阀M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安装在真空排气泵上部，是在排气泵紧急停止时切断排气线的部件。在成膜、剥离过程中产生的反应产物和粉尘在Chamber内和排气系统中累积过程中如果泵紧急停止的话，会引起Chamber内粉尘的飞扬和管道等造成的Chamber内产品污染。通过使用Chamber防护，在停止泵时，通过瞬间切断排气系统，防止粉尘逆流，保护产品不受污染。

真空计用电源显示器MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生产的电容表配备了SetPoint继电器的显示器和电源供应单元。可以连接一台或两台电容表。内置2个或4个独立动作的定点继电器。连接带有温度支架输出的电容表时，可以显示温度支架。