• 设备简介

感应区熔及晶体生长装置主要包含两种功能，一种用于材料的熔化提纯，一种用于材料的定向凝固。
二、感应区熔及晶体生长装置MTQZ-15-60真空炉主要技术参数：
1、*高温度：1650℃
2、线圈升降行程：150毫米，采用伺服电机驱动，升降速度可调节，分为快速和慢速
3、坩埚升降行程：150毫米，采用伺服电机驱动，升降速度可调节，分为快速和慢速
4、石墨坩埚尺寸：φ40*60㎜
5、感应电源振荡功率：15KW，电源电压380V

1. 采用钨铼热偶监测温度，通过电流调节温度
2. 可抽真空与充保护气氛

• 感应区熔及晶体生长装置MTQZ-15-60真空炉结构简介

感应区熔及晶体生长装置主要由感应加热装置，坩埚及保温装置、密封石英管装置、区熔装置、定向凝固装置、真空装置、保护气氛装置、测温装置、支架及操作台装置与可视化控制系统组成。

1. 感应加热装置：由一台振荡功率15kW，振荡频率30-80kHZ的高频电源提供感应加热
2. 坩埚及保温装置：由一只石墨坩埚，一种石英陶瓷保温套、氮化硼保温底座和保温盖组成，保证传输到石英管的温度低于800℃；保温盖开有观察孔，可观察到熔液状态。
3. 密封石英管装置：由一根石英管，两套密封法兰组成，采用硅胶密封圈密封，局部带水冷，密封法兰上带各种接口，方便其他装置接入。
4. 区熔装置：由伺服电机、减速机、线性模组和连接块组成，带动线圈沿着石英管上下移动，速度可调节，实现区熔目的。
5. 定向凝固装置：从石英管底部密封法兰处引入，带动密封结构，留有热偶接口，由步进电机、减速机、线性模组和连接块带动坩埚实现上下升降目的，实现定向凝固功能。
6. 保护气氛装置：石英管底部密封法兰留有充气接口，带阀门和进气接口，石英管顶部密封法兰留有出气接口与阀门，并装有安全阀，防止气压过高损坏元件
7. 测温装置：从定向凝固移动管中接入，可直接跟石墨坩埚接触，测量石墨坩埚温度，并能根据温度手动调节高频电源的输出功率。
8. 支架及操作台装置：采用型材与板材拼接而成，人性化设计，操作方便，占地空间小。
9. 可视化控制系统：采用PLC+触摸屏控制整套系统，实现可视化操作，操作直观方便。还可实时记录各种实验数据并下载到PC端，方便用户调整工艺数据。