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MarSurf LD 130 Aspheric / LD 260 非球面
高精度 2D / 3D 光学元件测量站
现在越来越多的光学系统都要求一个紧凑的系统设计,例如:变焦镜头,DVD光头以及手机照相机镜头等。为了达到这个目的,在传统球面镜的基础上,光学行业在向生产非球面镜头转变。
在Mahr的轮廓测量单元中,评价程序可以分析非球面表面形貌,实际测得的数据将在软件中与已经定义好的名义数据进行比较与计算,进而得到我们所需要的差值结果。
差值结果可以各种机器可读的格式进行导出,方便生产设备进行工艺调整(闭环控制)
相比较激光干涉仪而言,测针式的测量可以将2D和3D的测量都应用在较粗糙的光学表面上,这样就可以在生产的初期实现测量与补正(研磨)
测量原理
对3D测量来讲,首先是测量两条成90°的过非球面顶点的直线。再来就是一系列由旋转工作台C-axis完成的同心圆曲线。这些测量出的数据点将被用来生成整个形貌。
测臂可以自动定位,例如抬升和接触,甚至非连续性的表面比如中心有孔的表面都可以测量。
机器自带减震装置和外罩,用来保护被测物体远离环境影响,例如震动与杂质。