干燥储液器氦检漏系统气密性检测设备

1.系统介绍

1.1 基本技术指标

1.2 真空箱集成密封管路及接头

（1） 箱内带6条抽空充气管路（含3套接头）

（2） 每条管路单独控制

2.基本工作原理

根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度迅速准确的判断工件的泄漏情况。

3.工作过程描述

干燥储液器氦检漏系统气密性检测设备有2个真空箱，2个真空箱联动，操作员将零件置入真空箱中并用快速接头进行连接，随后同时按下位于真空箱上沿的两个绿色圆形关箱按钮，箱门自动关闭，检测循环开始。在真空箱门两侧装有光栅保护器，关闭箱门时，确保合门区域内没有干涉箱门运动的物件。

一旦其中一个箱门关闭，此箱的检测循环随即开始。 此时操作员可以转到另一箱进行操作。

检测过程：

（1）大漏检测：真空箱门关闭后，系统先后对真空箱进行粗抽、精抽，直至箱内真空度达到设定的检漏压力，在对真空箱开始抽真空的同时，系统给箱内的工件充入4MPa（向下可调）的高压气体，再进行保压，等待系统的压力传感器确认是否有大漏。如果工件有大漏，系统把工件内的高压气体排放掉，同时关闭真空箱的抽气阀，终止检漏程序，并给真空箱充入大气，操作者按下确认按钮，真空箱门自动打开，取出工件，标识后放入待处理区。若系统没有发现工件大漏，自动进行下一步检漏程序。

（2）对工件抽真空：若没有发现工件大漏，系统将工件内的高压气体放掉，并对工件内部抽真空，当工件内的真空度达到设定的压力值后，等待真空箱的抽空过程完成。

（3）真空氦检：当真空箱的抽空达到设定的检漏压力，而同时箱内工件的抽空已经完成，系统检出检测箱内的氦气信号，并对这个信号抑零，然后给工件充入3.6MPa的氦气，当工件内的氦气压力达到设定值后，检漏仪对工件进行检漏。

如果检漏仪发现有超过设定值的氦信号，则说明箱内工件有小漏，系统发出有漏的报警，操作者按下确认按钮，真空箱内充入大气后自动打开，操作者可将快速接头与工件分离后，将工件取出并做相应标识。

如果检漏仪没有发现有超过设定值的氦信号，则说明被检测工件没有漏，系统发出通过检测的信号，并自动对工件进行氦回收程序。

（4）氦气回收：检测完成后，工件内的氦气通过自动压力平衡送回到低压氦气罐，当工件内的氦气压力下降到大气压时，系统用真空泵把工件内的剩余氦气回收，当工件内的压力下降到设定值时，氦回收工序完成。在回收氦气的同时，系统向真空箱充入大气，当真空箱的压力上升到大气压力，而箱内的工件氦气回收工序已经完成时，真空箱门自动打开，检测程序完成。