名称：主动消磁-电磁屏蔽-电镜消磁器-SC-26

型号：SC-26

品牌：Spicer Consulting

描述：SC26是第四代磁场抵消系统，被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场，通常在9kHz.

产品介绍：

SC26是第四代磁场抵消系统，被优化用于抵消300mm 晶圆厂里晶圆运输工具的高频磁场，通常在9kHz。

SC26是SC20Fast系统的升级版，该系统在晶圆厂的安 装数量*已超过200台。

SC26的工作原理与其他消磁系统类似。消磁方法是产 生一个宽带模拟负反馈。嵌入式微型计算机控制系统并将测量磁场进行数字化处理，但不属于反馈回路。

SC26在电子束设备附件中的参考安装如图4所示。控制 单元未显示。消磁电缆显示为红色、绿色和蓝色。此参考安装用于SC26系统性能。200kHz 'Sensor SC26/AC' (图 6）测量磁场，控制单元对测量数据进行滤波处理，并以正确的振幅和相位通过电缆驱动电流，使测量磁场为零。

SC26系统的操作需要“Sensor SC26/AC”。SC26控制单元有两个传感器的输入端。它将与一个或两个传感器工作。当它在两个输入端检测到传感器时，SC26启用混频器功能。

为了消除直流磁场，有必要通过传感器组合单元为每个使用的输入端添加一个“传感器SC24/DC+AC”。然后，SC26将启用直流抵消功能，并在触摸屏上显示直 流磁场。DC消除功能很复杂，但有时是必要的。

SC26无法消除电子束设备附件内的所有磁场。它在磁 场传感器周围创建一个区域，大幅度削减磁场。该区域的大小取决于周围磁场的均匀性、磁场电缆的设计以及电子束设备的金属结构对磁场的扭曲程度。主动消磁-电磁屏蔽-电镜消磁器-SC-26

产品特点：

· 改善外部磁场干扰以达到电子束仪器对磁场规格的要求

· 实时宽带消除从DC到＞9kHz的磁场

·  在10μs之内适应磁场幅度和频率变化

· 触摸屏智能用户界面，具有自动设定和直流复位功能

· 面板同时显示交流及直流磁场数值并可选择不同单位( Tesla或 Gauss)

· 混合式双传感器，可在EM模块里产生一个虚拟感应器

· 内置测试场发生器

· 具备以太网和USB端口，以供远程操作及监视