XY扫描器：

• 闭环控制式单模块柔性XY扫描器。
• 扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)
• 分辨率: 0.05 nm
• 定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)
• 水平线性: < ２nm (over 40 μm scan)

Z扫描器：

• 柔性引导高力度扫描器
• 扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)
• 分辨率: 0.015 nm
• 定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)
• 共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
• 表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)

光学系统：

• 可观察样品和探针的直视同轴光学系统
• 视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)
• CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

物镜：

• 10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)
• 20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)

信号处理：

• ADC: 18个通道
• 4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)
• X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs
• DAC: 12 信道
• 2个高速 DAC 通道 (50 MSPS)
• X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs
• 大数据大小: 4096 x 4096 像素

集成功能：

• 3个通道数字锁相放大器
• 热噪声法标定弹性系数
• 数码Q控制

外部信号介入：

• 20个嵌入式信号输入/输出端口
• 5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias

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