仪器特点

◆ 三轴CNC控制系统，全自动测量；

◆ 三轴精密线性滑轨、精密传动系统；

◆ 全鼠标、手柄操作，简单易用；

◆ 可程控8区环形表面光源，LED轮廓光源；

◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；

◆ Vispec全自动影像测量软件（经济版）；

◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。

技术参数

型号 VME222

VME322

VME432

VME542

行程(mm)

200×200×200

300×200×200

400×300×200

500×400×200

外部尺寸(mm)

1040×700×1620

1040×700×1620

1240×800×1620

1440×900×1620

重量(kg)

150

160

200

250

承重(kg)

25

25

25

25

测量精度

XY轴*

E2=(3.0+L/200)µm

E2=(3.5+L/200)µm

Z轴**

E1=(5.0+L/200)µm

速度

XY轴

200mm/S

Z轴

100mm/S

光栅尺

1.0µm分辨率

CCD

SONY 1/2"CCD 黑白/彩色

光源

轮廓光

LED冷光源，256级亮度可调

表面光

1环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调

光学系统***

6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326

软件

Vispec测量软件（经济版）

运动控制

自主的CNC直流伺服系统

保修期

1年

工作环境

温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%

振动<0.002g，低于15Hz

电源

220V/50Hz/10A