测量范围

mbar (Torr)

1.0 x 10-8 至 1000 (0.75 x 10-8 to 750)

测量不确定性 1)

MEMS-皮拉尼

冷阴极

mbar mbar

1 x 10-4 至 1 x 10-3 ±10 % 测量值

1 x 10-3 至 100 ±5 % 测量值

100 至 1000 ±25 % 测量值

1 x 10-8 至 1 x 10-3 ±30 % 测量值

测量重复性 1)

mbar

1 x 10-3 至 100 ±2 % 测量值

变 送 器 测量原理

冷阴极电离规与 MEMS-皮拉尼

电源电压

V DC

9 - 30

功耗

W

< 2

电气连接

FCC68 / RJ 45

信号输出

Vout  = log 0.6 (Pmbar) + 6.8

2.0 to 8.668 / 2.0 to 8.667 [RS 232]

16

100

16

V DC

分辨率

bit

阻抗

Ω

刷新率

Hz

数字接口

N / A

设定点

调节范围 mbar (Torr)

继电器

继电器触点容量

继电器触点大阻值 mΩ

继电器触点短寿命

1.0 A@ 30  V DC load

0.2 A@ 30  V DC load

1.0 x 10-8 至 1000 (0.75 x 10-8 to 750)

0 / 3 [RS 232]

1 A @ 30 V AC/ DC, 电阻负载 [RS 232]

100 [RS 232]

100 000 [RS 232]

2 000 000 [RS 232]

状态指示器

LED-环 (360°)

大电缆长度

mt

100

过压范围

bar

2

运行温度范围

°C (°F)

0 至 40 (32 至 104)

储存温度范围

°C (°F)

-20 至 +65 (-4 至 149)

高温烘烤温度

(非运行状态)

°C (°F)

85 (185)

大相对湿度

% n.c.

0 - 95

安装方向

任意角度

与工艺气体接触的材料

304 不锈钢, 403 不锈钢, 陶瓷, 硅, 二氧化硅, 氮化硅, 锡, 金, 氟橡胶®, 钛, 低释气率环氧树脂

封闭空间 (DN 25 ISO-KF), 近似 cm3

28.6

重量 (DN 25 ISO-KF)

g

321

防护等级

IP

40

CE 认证

EMC 指令 2004/108/EC

控制器

DISPLAY oNE / TWo / THREE 和 GRAPHIX oNE / TWo / THREE