日本三丰378系列半导体检测用显微镜FS70Z

日本三丰378系列半导体检测用显微镜FS70Z

• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。
• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械 的 OEM(原厂委制) 产 品， 如 那 些 利 用YAG(近红外、可见、近紫外或紫外) 激光 *对半导体晶片进行检测和修补的设备。* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
• 应用 ：切割、修整、校正、给半导体电路做标记 / 薄膜 (绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复 (校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统 *。应用 ：晶体硅的内部观察 ；红外光谱特征分析。* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持 BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比 (DIC) 的型号 (产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。

1. 型号         FS70          FS70-TH      FS70Z      FS70Z-TH       FS70L     FS70L-TH       FS70L4       FS70L4-TH
2. 货号         378-184-1    378-184-3   378-185-1   378-185-3    378-186-1    378-186-3     378-187-1     378-187-3
3. 短基座型号   FS70-S        FS70-THS     FS70Z-S     FS70Z-THS    FS70L-S      FS70L-THS    FS70L4-S     FS70L4-THS
4. 货号         378-184-2     378-184-4   378-185-2   378-185-4   378-186-2     378-186-4     378-187-2     378-187-4
5. 对焦          50mm 行程，同心焦距粗调 (3.8mm/转)和微调 (0.1mm/转) 对焦轮(左、右)
6. 图像              正像
7. 瞳距             西登托夫型, 调节范围: 51 - 76mm
8. 视场数                24mm
9. 俯角             —                0º- 20º —               0º - 20º               — 0- 20º            — 0º - 20º
10. 透过率       固定(目镜 /TV=50/50)  可调型 (目 镜/管径= 100/0:0/100)     固定(目镜/ TV=50/50)     可调型 (目镜/管径= 100/0:0/100)
11. 防护滤光片                     —                                                 内置激光滤光片
12. 光学管径         1X                   1X - 2X变焦                               1X
13. 适用激光            —                 1064/532/355nm              532/266nm
14. 相机端口      C-mount (使用适配器B选件*1)      使用带有电视端口的激 光器          C-mount 端口 (带有绿色滤光片转换 开关)
15. 照明系统,       选件 亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑) 12V 100W 光纤传导、无极亮度调节、光纤长度：1.5m
16. 物镜, 选件 (用于观察)                M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
17. 物镜, 选件 (用于激光切割)             — M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV M Plan UV
18. 载重*                2 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
    重量 (主机)            6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg