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洁净烘箱是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。洁净烘箱工作室采用SUS304不锈钢结构,全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘。工作室内温度由智能数显温度控制仪进行PID恒温自动调节,并有时间控制装置,并设有超温自动切断电源及报警电路,控制可靠,使用安全。
产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
产品特点
百级无尘充氮烘箱
1、密封性设计:内材质用SUS304不锈钢板,内胆用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内及机台本身所产生的微尘,同时节省惰性气体;
2、外部防尘处理:外材质为SPCC钢板经过粉体喷塑,耐磨不掉尘渣;
3、节 能: 保温材质为高密度陶瓷纤维,保温节能;
4、分层结构设计:内箱层板高低可调,可自由取出;
5、内部无尘配件:内部结构配件均采用无氧化无尘材质;
6、外箱密封性:外箱结构均采用特殊密封结构设计,确保其与洁净室的和谐;
7、移动自由:箱体有活动脚轮,可任意推动和固定位置;
8、高效过滤器:HEPA过滤网构造洁净室与洁净等级100以下;
9、内循环风设计:强制送风内循环,确保温度均匀;
10、氮气预热结构设计;
11、可选配PLC+HMI人机触摸屏控制系统,带数据输出接口。(选配)
12、煜南氮气烘箱(无氧化烘箱)可选配氧含量分析仪,实时观测箱内氧气含量;
13、可配置充氮气系统(氮气进气口,自动预热控制)。
百级无尘充氮烘箱
型号参数