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产品介绍:
采用精巧化设计,比同类设备分辨率和配置相同情况下,体积缩减20%,节约空间,标配二次电子和背散射探测器,便于形貌和衬度的同时观察,具有日立钨灯丝电镜通有的四偏压、四孔光阑、高分辨背散射、长衬管等*设计。
主机宽度仅为55cm,体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。
日立扫描电子显微镜SU1510主要特点:
1、仪器主体比过去减小20%,可以更加自由地选择安装场地。
2、标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。
3、样品台可载入zui大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行EDX分析。
4、强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作。
5、分子泵真空系统,洁净无污染。
技术参数 :
二次电子分辨率 | 3.0nm(高真空,30kV) |
背散射电子分辨率 | 4.0nm(低真空:60Pa,30kV) |
倍率 | 5 ~ 300,000倍 |
加速电压 | 0.3~30 kV |
样品台 | X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T -20~80mm R 360° |
样平台控制 | 手动(可选:2轴马达) |
zui大载入样品尺寸 | 直径:153mm |
zui大观察范围 | 直径:126mm(XYR并用) |
zui大样品高度 | 60mm (WD=15mm) |
低真空范围 | 6-270Pa(从菜单设定) |
灯丝 | 预对中钨灯丝 |
物镜光阑 | 4孔可变光阑 |
枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压 |
检测器 | 二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
EDX分析位置 | WD=15mm,TOA=35° |
真空系统 | 分子泵1台,机械泵1台 |
安全措施 | 停电,漏电,自动保护 |
应用领域:
半导体
生物
高分子