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铝膜厚度测定仪简单介绍
铝膜测试仪利用涡流原理制造: 即被测蒸铝层靠近高频激磁磁场时, 感应产生涡电流, 因而产生涡流磁场, 此涡流磁场反作用于原来激磁磁场, 使传感器阻抗发生变化, 然后通过检测电路并进行放大, 输出与厚度相对应模拟电压。
为了减少漂移即减少重复性误差和提高测量准确度,本仪器应用智能功能单片机系统,即对测厚过程中非线性和零漂进行校正,因而提高了测量准确度。
铝膜厚度测定仪技术参数
可测量范围与量程:被测薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10%
测量量程 厚度90~800Å(0.009~0.08µm)
方阻95~0.47Ω/□
精确度:测量准确度 厚度 ±(20Å+2%读数)
方阻 ±0.15Ω/□(在300~500Å范围)
读数重现性 10Å (同一测量点)