奥林巴斯MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜，适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。
考虑了检查效率的设计
高灵敏度载物台可以迅速决定位置
内置离合器的载物台手柄
MX51主要操作部件集中在前面，操作人员易于操作，即使长时间操作也不会感到疲劳。150mm载物台内置离合器，可实现轻松移动。
快速切换物镜，提高检查速度

电动物镜转换器示意图
电动物镜转换器示意图 电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离
鲜明图像和的分辨率为特点的光学系
多种选择可实现的成像性能
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容，可按照用途选用。另外，波像差控制带来的高品质，
忠实于样本的中性色彩显示等，UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。
观察影像实例

明视场观察
暗视场观察

微分干涉观察
荧光观察

丰富的产品阵容，可按需选择
MPLAPON 平场复消色差透镜
MPLFLN 平场半复消色差透镜
MPLFLN-BD 明暗视场用平场半复消色差透镜
MPLFLN-BDP 反射偏振光用平场半复消色差透镜
LMPLFLN 长工作距离平场半复消色差透镜
LMPLFLN-BD 明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
MPLN 平场消色差透镜
MPLN-BD 明暗视场用平场消色差透镜
SLMPLN 超长工作距离平场消色差透镜
LCPLFLN-LCD 液晶长工作距离平场半复消色差透镜
软件方案
使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可根据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
帮助实现多种观察方法的附件
近红外线观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，备有各种对应近红外线观察的单元。
在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

近红外线观察单元

近红外线观察

荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。

荧光镜单元

荧光观察
透射照明单元
透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。
有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号

工业检测显微镜 MX51 规格 
光学系统  UIS2光学系统（无限远校正） 
机身  观察方法  明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 
反射/透射  反射/透射 
照明装置  明暗视场反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光） 
通用反射照明管（明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光） 
照明系统  反射照明  100 W卤素/100 W水银/75 W氙 
透射照明  纤维光导 
对焦单元  电动/手动  手动 
行程  32 mm 
分辨率/微调灵敏度  微调旋钮转动1周移动0.1 mm 
zui大样本高度  30 mm 
物镜转换器  电动型  明视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉5孔 
明暗视场微分干涉中心输出5孔 
明暗视场微分干涉6孔 
手动式  明视场5孔 
明视场微分干涉6孔 
明视场微分干涉中心输出6孔 
明视场微分干涉7孔 
明暗视场5孔 
明暗视场微分干涉5孔 
明暗视场微分干涉中心输出5孔 
明暗视场微分干涉6孔 
载物台  行程  6×6英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm　（透射照明范围100×100 mm） 
4×4英寸右下（左下）手柄：
100（X）×105（Y）mm　（透射照明范围96×96 mm） 
观察筒  广角视场（视场数22）  倒置  双目/三目观察筒 
正像  三目观察筒 
超宽视场（视场数26.5）  倒置  三目观察筒 
正像  倾斜三目观察筒 
附件单元  DUV单元/IR单元/自动装载 
外形尺寸  430（W）×591（D）×495（H）mm（标准组合） 
重量  26 kg（标准组合）