Chroma 7505 半导体封装光学量测系统-长沙艾克赛普仪器设备有限公司手机版

产品简介

Chroma 7505 半导体封装光学量测系统同时配备电动调整移动平台，可对样品做自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大，适合各种自动量测之应用，待测物皆不需前处理即可进行非破坏且快速的表面形貌量测与分析，并提供快速自动对焦演算法与大面积接图功能以及脚本量测功能具备自动量测能力，此外系统亦提供量测数据资料的存档功能，供后续操作人员处理分析使用。

详细介绍

Chroma 7505 半导体封装光学量测系统同时配备电动调整移动平台，可对样品做自动调平及定位。垂直与水平轴向扫描范围大，适合各种自动量测之应用，待测物皆不需前处理即可进行非破坏且快速的表面形貌量测与分析，并提供快速自动对焦演算法与大面积接图功能以及脚本量测功能具备自动量测能力，此外系统亦提供量测数据资料的存档功能，供后续操作人员处理分析使用。

Chroma 7505 半导体封装光学量测系统的特色:

整合白光干涉量测技术，进行非破坏性的光学尺寸量测。
可进行待测物之关键尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量测需求
垂直与水平轴向扫描范围大，适合各种自动量测之应用，大量测尺寸达12吋晶圆
待测物皆不需前处理即可进行非破坏且快速的表面形貌量测与分析
提供快速自动对焦演算法与大面积接图功能
提供脚本量测功能具备自动量测能力
提供量测数据资料的存档功能，供后续操作人员处理分析使用
本设备已通过SEMI S2认证
可搭配EFEM

21396 [{"ID":"725250","CompanyID":"63365","Title":"电压表和电流表都是根据一个原理进行作业的","Picture":"","PictureDomain":"","UpdateTime":"2024/5/6 7:12:35","CreateTime":"2024/5/6 7:12:35","ClassName":"技术交流","rn":"3"},{"ID":"670719","CompanyID":"53679","Title":"现代仪器仪表技术发展战略详细分析","Picture":"mt0016/3/20100926/634211198793593750.jpg","PictureDomain":"img43","UpdateTime":"2023/10/9 14:29:46","CreateTime":"2023/9/14 7:35:27","ClassName":"技术交流","rn":"4"}]