产品介绍:
名称:德国超声波扫描显微镜
型号:V-700E
产地:德国
应用:晶圆面处分层缺陷;锡球、晶圆、或填胶中的开裂;晶圆的倾斜;各种可能之孔洞(晶圆接合面、锡球、填胶…等)
应 用:
超声波扫描显微镜的应用领域:
- 半导体电子行业:半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
- 材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等;
- 生物医学:活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等
超声波扫描显微镜在失效分析中的应用:
- 晶圆面处分层缺陷
- 锡球、晶圆、或填胶中的开裂
- 晶圆的倾斜
- 各种可能之孔洞(晶圆接合面、锡球、填胶…等)
超声波显微镜的在失效分析中的优势:
- 非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
- 可分层扫描、多层扫描
- 实施、直观的图像及分析
- 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
- 可显示材料内部的三维图像
- 对人体是没有伤害的
- 可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)
主要参数:
- - 该型号超声波扫描显微镜分析系统,用于检测大件样品
- - 大扫描速度:2000 mm/s
- - 与其它品牌相比扫描效率高30%
- - 大扫描范围:700mm×600mm
- - 小扫描范围:200μm×200μm
- - 带宽:550MHz
- - 大放大倍数:625倍
- - 新型FCT换能器
名称:德国超声波扫描显微镜
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