实验镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE 分子束外延，PLD 激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

实验镀膜机用途 Equipment use

高真空电阻蒸发镀膜设备的用户群体为科研院所及实验室，可蒸发有机低熔点无机物和金属，广泛应用于材料，物理，化学，电子，能源等相关科学，以及 OLED,PLED,OPV 等方面研究。直接将真空室置于手套箱环境中，薄膜制备与后期工序无缝对接，镀膜后旋涂测试在手套箱环境中完成这种结构方便可靠。真空室内部采用镜面抛光处理，减少表面放气量提高抽速。前门侧滑设计锁紧采用自动锁紧方便快捷。

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