光刻机芯片冷却水冷式冷水机

产品说明：

1.压缩机超高能效、低噪音、制冷量大；压缩机延时启动，内外皆置安全保护，性能稳定 ；

2.冷冻机涡流水泵；不堵塞、起动扭矩大、密封性好；

3.水箱式蒸发器内置自动补水装置，方便安装及保养，适用于大温差小流量等特殊场合；

4.冷凝器为套管或者壳管式，内铺铜管，换热效果好；

5.压缩机小于或者等于6hp用毛细管；大于6hp则用美国艾可和丹麦丹佛斯膨胀阀（多机头除外）；

6.电脑PC板，触摸式控制，安全方便；

7.内置外覆绝热材料的不锈钢水箱1个；

8.施耐德电器；LAE温控，温度3～50℃范围内可控可调，温差：±1℃；R22冷媒；

9.安全保护系统

压缩机延时起动保护

冰水泵过载及指示灯

压缩机过载保护

马达反转保护及指示灯

压缩机过载保护及指示灯

冷媒不足保护及指示灯

冷媒高压安全阀

散热不良保护及指示灯

故障警报蜂鸣器

冷冻水的压力和温度——讲解

　　空调用冷水机组一般是在标准工况所规定的冷水回水温度12℃，供水温度7℃，温差5℃的条件下运行的。对于同一台冷水机组来说，其运行条件不变，外界负荷一定的情况下，冷水机组的制冷量是一定的。此时，通过蒸发器的冷水流量与供、回水温差成反比，即冷水流量越大，温差越小；反之，流量越小，温差越大。所以，冷水机组工况规定冷水供回水温差为5℃，这实际上是规定了机组的冷水流量。这种冷水流量的控制就表现为控制冷水通过蒸发器的太力降。

　　在标准工况下，蒸发器上冷水供回水压降调定为0.5kgf/cm2。其压降调定方法是调节冷泵出口阀门开度，和蒸发器供、回水阀门开度。阀门开度调节的原则是：蒸发器出水有足够的压力来克服冷水闭式循环系统中阻力；机组在负担设计负荷的情况下运行，蒸发器进、出水温差为5℃。此时进、出蒸发器的冷水压降为0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，阀门一经确定，冷水系统各阀门开度大小就应相对稳定不变。即使在非调定工况下运行（如卸载运行）旱，各阀门也应相对稳定不变。应当注意，全开阀门加大冷水流量，减少进、出水温差的做法是不可取的。这样做虽然会使蒸发器的蒸发温度提高，机组的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，两相比较得不偿失。所以，蒸发器冷水侧进、出水压降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)为宜。

　　一般来说，冷水供水管上的压力，只要能够满足克服冷水管系统中管道上的阴力损失就可以了，这可以从安装在冷水泵上的吸入压力表读数来判别。然后通过控制冷水泵出水阀的开度，可以调节冷水供水压力。将出水阀开度关小，则冷水泵背压提高，通过水泵的流量减少，水泵功率消耗下降，这时蒸发器的供水压力下降，但该压力无论如何也不应低于满足蒸发器供、回水压降为49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　为了冷水机组的运行安全，蒸发器出水温度一般不低于3℃。此外，冷水系统虽然是封闭的，在蒸发器中水侧结垢和腐蚀不会像冷凝器那样严重，但从设备检查维修要求出发，应每年对蒸发器管道的水侧和冷水系统的其他管道清洗一次。

【光刻机芯片冷却水冷式冷水机】