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德国宝德burkert8712气体流量控制器 MFC产品实物图:
德国宝德burkert8712气体流量控制器 MFC产品描述:
8712 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现*速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件,确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具备zhuo越的控制特性。