本款热式气体质量流量计用于精确的测量气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽，可以在真空或高压气路中工作，大流量分流器不易堵塞等特点。质量流量计(FFM)／质量流量控制器(FFC)用于精密地测量或控制气体的质量流量， 热式气体质量流量计的流量传感器是热式质量流量传感器。 热式气体质量流量计由传感器、分流器、主通道及电路板等部分组成，用于测量流量；MFC除了具有与MFM类似的各部件之外，还有一个控制阀门及PID控制电路，它不但能测量流量，还能控制流量。 
   

      热式气体质量流量计的气体通道的材料为316L不锈钢，密封材料可选橡胶或金属材料等。 热式气体质量流量计原则上可以使用任何气体，包括腐蚀性气体，不过要注意恰当选择产品型号和密封材料。 模拟流量计产品的流量输入输出信号是0~+5V电压信号，个别产品是4~20mA电流信号，对应于流量的0~满量程。数字模拟兼容的流量计产品的流量输入输出信号，除了有0~+5V模拟信号外，还具有RS232 / RS485计算机串行通讯信号。全数字化流量计产品通常采用现场总线通讯方式。 
     

      热式气体质量流量计测得的质量流量等同于标准状态下的体积流量，其质量流量单位表示为SCCM (每分钟标准毫升) 或SLM (每分钟标准升)。标准状态指压力为一个大气压(101325Pa)、温度为0oC。 产品出厂时一般用氮气标定。用户使用其它气体时，可以用说明书中提供的气体转换系数进行读数修正，或提出根据使用气体进行转换标定，如果可行的话，也可以要求我公司以实际使用的气体进行标定。 SONIC系列流量显示仪可以和质量流量计/质量流量控制器配合使用，由前者提供工作电源和进行流量显示。

【性能特点】
●量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM
●准确度：±1%F.S
●线性度：±0.5～1% F.S
●重复精度：±0.2% F.S
●响应时间：10S
●气压降： <0.01MP
●大压力：10MP
●工作环境温度： 5～45℃ 
●输出信号：0～+5.00V 
●电源：+15V 50mA -15V 200mA 
●外形尺寸：158.7*60*198，161.7*60*198可选 
●重量：2.5 Kg 
●防爆等级：Exd II BT6