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LION PRECISION传感器CPL591/592
面议ISP System多轴控制器v2.0
面议FOHRENBACH旋转工作台RT1A
面议ACS运动控制器CM-3-C-E-M0-H4
面议Abberior光学模块EASY3D
面议NATIONAL APERTURE电动线性载物台MM-3M-ST
面议LAB Motion Systems旋转台RT75S
面议MicroSense电容式传感器Model 6810
面议MICRONIX精密压电平台PPS-50
面议Symetrie高精度六足位移台BREVA
面议Elliot Scientific挠性载物台MDE120
面议New Scale Technologies线性智能平台M3-LS-U2-8
面议集成的扫描程序可进行光纤对准
硅光子学的理想选择
广泛的软件包
直接检测光信号
位置传感器具有高精度和高操作可靠性
<0.5s内自动对准多根光纤
快速高精度的驱动器
光纤对准系统的基础是非常坚固的XYZ设置,包括三个电动线性平台和一个P-616 NanoCube纳米定位器。低的整体高度简化了在有限安装空间中的集成。电动驱动器可以实现更长的行程范围,同时,NanoCube纳米定位器可确保快速扫描运动并动态补偿漂移效应。挠性导轨和全陶瓷绝缘PICMA执行器确保了较长的使用寿命。因为所有驱动器都配备了位置传感器,所以例如可以可靠地防止与昂贵的硅晶片发生碰撞。
广泛的软件包
供货范围内提供的软件包允许将系统集成到几乎所有环境中。支持所有常见的操作系统,例如Windows,Linux和macOS,以及许多常见的编程语言,包括MATLAB和NI LabVIEW。得益于复杂的程序示例和软件工具(如PIMikroMove)的使用,开始集成和生产操作之间的时间大大缩短了。
高性能扫描程序
复杂的扫描例程直接集成到控制器中。性能显着提高,集成简化。该系统可以管理光纤对准领域中的所有任务。例如,双面系统允许发射机和接收机同时对准。
高分辨率模拟输入
控制器直接通过高分辨率的模拟输入接收光强度信号。无需使用摄像机进行复杂的设置。各种分布函数可用于确定更大强度。
应用领域
光学组件的对准,自动晶圆测试,硅光子学中的组装技术
活动轴数:12
粗略定位
主动轴:X,Y,Z
X,Y,Z的行程范围:25、25、25 mm
增量运动:min.3 µm
速度:min.20 mm / s
感应器类型:旋转编码器
导轨:交叉滚子导轨
驱动类型:直流马达
精细定位
主动轴:X,Y,Z
X,Y,Z闭环行程:100 µm
增量运动,开环:min.0.3 nm
增量运动,闭环:2.5 nm
线性误差,对于整个行程:2%
重复性(双向)10%行程范围:2nm
传感器类型:增量式
驱动类型:PICMA
对准
500 µmØ螺旋区域扫描时间:<6 s
100 µmØ螺旋面扫描时间:<1 s
10 µmØ螺旋区域扫描时间:<0.5 s
±5 µm(重复性<0.01 dB)扫描时间,梯度扫描,随机:<0.3s