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ISP System多轴控制器v2.0
面议FOHRENBACH旋转工作台RT1A
面议ACS运动控制器CM-3-C-E-M0-H4
面议Abberior光学模块EASY3D
面议NATIONAL APERTURE电动线性载物台MM-3M-ST
面议LAB Motion Systems旋转台RT75S
面议Symetrie高精度六足位移台BREVA
面议Elliot Scientific挠性载物台MDE120
面议PIEZOCONCEPT压载物台Z-INSERT
面议SCHNEEBERGER定位台NFM 9-100/75
面议PI光纤对准系统F-712.MA2
面议STANDA手动垂直位移台7VT188-20
面议产生力达600 N
保持力至800 N
行程20 mm
集成式直接测量线性编码器,分辨率为5 nm
使用增量线性编码器进行高精度位置测量
非接触式光学编码器可以高精度直接在平台上测量位置。非线性,机械游隙或弹性变形对测量没有影响。
PiezoWalk行进驱动器具有纳米级精度和高进给力
多个压电执行器在PiezoWalk行进驱动器中执行行进运动,从而导致行进向前进给。致动器的控制允许更小的步进和正向进给运动,分辨率远低于1纳米。
适用于复杂的真空应用
PI的压电电机可以设计用于真空环境,适合在强磁场中运行。为此可以使用特殊版本的驱动器。PiezoWalk驱动器还可用于无尘室或紫外线强烈的环境中。
行程范围:20 mm
模拟模式下的行程范围:±3 µm
集成传感器:无
分辨率,开环:0.03 nm
分辨率,闭环:-/ 5 nm(N-216.1A1)
速度(10%占空比,全步模式):max.1.0 mm/s
速度(100%占空比,全步模式):max.0.6 mm/s
驱动力(有效):max.300 N
保持力(被动):min.400 N
马达类型:NEXLINE
工作电压:-250 V至+250 V
工作温度范围:0至55°C
材质:铝,不锈钢
电缆长度:2.0 m
连接器:D-sub 25(m)
重量:1150 g