maxLIGHT 采用无缝设计，可提供光收集量和业内高效率。经像差校正的平场波长覆盖范围从 1nm 到 200nm，光谱带宽宽广，例如每个光栅可覆盖 5-80nm 的波长。maxLIGHT 具有集成的狭缝支架和滤光片插入装置，以及电动光栅定位装置。检测器选项包括用于高分辨率和动态范围的 XUV CCD，以及用于宽波长覆盖范围和门控/增强检测的 MCP/CMOS 检测器。采用直接光源成像。因此，无需狭窄的入口狭缝，可大限度地收集光线。与传统的光谱仪结构相比，到达光谱仪探测器的光量增加了 20 倍。这种结构还大大提高了日常运行的稳定性。

平场掠入射光谱仪

采用专有的无狭缝设计，效率高

波长范围从 1 nm到 200 nm

集成示波器

模块化交钥匙设计

无磁、旋转几何、偏振等

产地：德国

拓扑结构：像差校正平场光谱仪和光束轮廓仪

光源距离：灵活

探测器：CCD 或 MCP/CMOS

工作压力：<10^-6 mbar（提供 UHV 版本）

无缝技术：是

入口狭缝：可选

光栅定位：电动闭环

光谱滤波器插入单元：是

控制接口：USB 或以太网

软件：Windows UI 和 Labview/VB/C/C++ SDK

可定制：可定制

波长范围：1-20 nm

色散：0.2-0.4 nm/mm

分辨率：在 10 nm处 <0.015 nm

高次谐波发生源、阿秒科学、强激光物质相互作用、自由电子激光器、激光和放电产生的等离子体源、X 射线激光器、激光驱动的二次光源