GIGAPHOTONGT45A

GT45AGIGAPHOTONGT45A

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-24 22:36:55
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天津瑞利光电科技有限公司

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产品简介

产品介绍GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型

详细介绍

产品介绍

GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。

性能特点

模块寿命延长技术

降低维护频率

提高生产率

减轻环境负荷

可选功能与配件

可以搭载GT65A可使用的功能和技术

技术参数

产地：日本

发射波长：193 nm

平均输出功率：45 – 90 W

脉冲能量：11.25 – 15 mJ

发射频率：4,000 – 6,000 Hz

光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）：≤0.5 pm

数据采集：监控的方式

输出方式：晶圆输出

光谱带宽：可变化

光谱宽度：稳定

产品应用

半导体工业

产品参数
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