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英国牛津Cryo-Plex 10 低温泵 考虑全面的高效设计，使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速，是理想的洁净、无油高真空排气方案。 标准应用：半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域 配置灵活 支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口 用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵，从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室，是非常理想的选择。 标准设计 Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。 Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second Air 3,000 Water 9,000 Hydrogen 5,000 Argon 2,500 Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr Hydrogen 24 Argon 2,000 Throughput Argon sccm 1,500 Crossover Torr-liters 300 Cool down time 60 Hertz 60 Min Cryopump measurements Height 23.9" Weight LBS 85 Inlet flange ANSI/ISO/CF
