Cryo-Plex 8LP （low profile）英国牛津Cryo-Plex 8LP （low profile） 低温泵
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英国牛津Cryo-Plex 8LP （low profile） 低温泵 在部分半导体生产设备里，低温泵的安装收到空间限制，此时Cryo-Plex 8LP 低温泵是很好的选择。 Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。 灵活配置 ANSI、ISO、CF等多种法兰接口 Cryo-Plex 8LP Gas Pumping speeds - liters/second Water 4,000 Air 1,500 Hydrogen 2,200 Argon 1,200 Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr Hydrogen 12 Argon 1,000 Throughput Argon sccm 700 Crossover Torr-liters 150 Cool down time 60 Hertz 90 min Cryopump measurements Height 7.03" Length 22.6" Weight LBS 42 Inlet flange ANSI/ISO/CF 标准设计
