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采用L型移动桥式,由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨,左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥,提高了运动质心,减少了阿贝误差
X轴和Z轴均采用超精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金u
Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨u
Z轴采用的可调式气动平衡设计,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和*稳定性u
各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位u
三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨*受磨损u
三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩u 采用IDC-II控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了大型机器的动态性能和测量精度u
测量机三轴都配置温度传感器,实时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差u
软件为业界的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM),功能强大,易学高效u