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碳化硅烧结炉
碳化硅烧结炉的特点:
碳化硅烧结炉的技术参数
参数 型号 | HYSW-4040120 | HYSW-5050160 | HYSW-6060160 | HYSL-7070400 |
工作区尺寸DXH(mm) | 400X400X1200 | 500X500X1600 | 600X600X1600 | 700X700X4000 |
工作温度(℃) | 2800 | 2800 | 2800 | 2800 |
温度均匀性(℃) | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
工作电压(V) | 三相380 | |||
额定功率(KW) | 160 | 200 | 250 | 400 |
极限真空度(pa) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
以上碳化硅烧结炉技术参数可根据工艺参数进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。 |
碳化硅烧结炉的配置