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化学气相沉积石墨化一体炉
化学气相沉积石墨化一体炉特点：
采用多功能高温设计，可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。
使用温度高达2600，并可长时间稳定可靠运行。
采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统，可实现全温度段的显示和控制。
采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统，使得设备节能省电，谐波分量小，对外部设备无干扰。
进出气体的精确流量显示和控制，保证了产品的稳定性。
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
特制的过滤系统，对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理；
技术参数：
参数 型号 | HYSJL-3040 | HYSJL-4050 | HYSJL-5060 | HYSJL-6080 | HYSJL-8080 | ||||||||||
工作区尺寸DXH（mm) | Ф300X 400 | Ф400X 500 | Ф500X 600 | Ф600X 800 | Ф800X 800 | ||||||||||
工作温度（℃） | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | |||||
温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ||||||||||
工作电压(V) | 三相380 | ||||||||||||||
额定功率（KW) | 40 | 80 | 60 | 150 | 80 | 160 | 90 | 200 | 160 | 350 | |||||
工作气氛 | 真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/石油天然气 | ||||||||||||||
以上化学气相沉积炉技术参数可根据工艺参数进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。可将化学气相沉积和高温石墨化两种功能分开，单独做成化学气相沉积炉和高温石墨化炉。 | |||||||||||||||
