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电子工业高纯水设备
电子工业高纯水设备中,生产单晶硅半导体材料、二极管、三极管、集成电路、光、硬盘、显象管时,都需要达到电子级标准的工艺用水,在我国,电子级水共分五个级别,部分指标如下:
指标 级别 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | EW-Ⅴ |
电阻率 MΩ.cm(25℃) | 18 90%时间zui小17 | 15 90%时间zui小12 | 10 90%时间zui小8 | ≥2 | ≥0.5 |
大于1μm微粒数,大值,个/ml | 1 | 5 | 10 | 100 | 500 |
大于0.5μm微粒数,大值,个/m | 100 | 300 | 500 | 1000 | 2000 |
细菌个数,大值,个/ ml | 1 | 5 | 10 | 50 | 100 |
总有机碳含量,大值 | 50 | 100 | 200 | 1000 | 5000 |
二氧化硅总含量,大值 | 2 | 20 | 50 | 100 | 1000 |
电子级水基本制水流程如下:
原水 预处理 反渗透 混床 UV MF
我司从事高纯水、超纯水设备的生产有多年历史,可按用户的需求提供达到电子级别用水的生产线。
电子工业高纯水设备