Brooks 金属转子流量计-西安欧润凯机电科技有限公司手机版

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产品简介

Brooks 金属转子流量计的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。

详细介绍

特点

*零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
能够根据命令变化在 3 秒内完成设置并且过冲/下冲可忽略不计
流量范围宽 - 3 sccm 至高达 30,000 slpm
高压额定值 - 高达 1,500 psi
可选增强型内部后处理工艺 - 5µ 英寸 Ra（平均值）
可拆卸式流量传感器
不受安装角度影响
其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
TTL 兼容型"阀关闭"和吹扫功能

优势

全金属流路可确保气体纯度并降低泄漏风险
在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的*稳定性和准确性
由于性能可靠，因此投资回报率出众
采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节
由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养

应用

光端机
LED/MOCVD
半导体
太阳能

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