近年来，为了开发更加有效和低成本的废气净化方法，研究人员进行了大量的研究。研究发现，等离子体是除固体、液体、气体之外的第四种物质存在形态。20世纪80年代以来利用低温等离子体废气处理设备治理环境污染成为国内外的研究热点，被誉为前景很好的废气治理技术之一。

  单纯的等离子体处理废气存在许多缺点，例如会产生一氧化碳、臭氧、气溶胶颗粒等副产物，废气分解不*，二次污染物多，而且去除效率低、能耗高，不适合工业应用。
  研究表明等离子体不仅能够代替紫外光作为光催化剂的驱动源，而且能够克服紫外光催化存在的许多缺点。而在低温等离子体中加入光催化剂能够提高污染物的去除效率，大大降低能耗和副产物的产生。

  低温等离子体废气处理设备集成了低温等离子体和光催化的优势，两者相互协同，优势互补，而且充分利用了等离子体场中产生的紫外光，是一种非常高效、节能的降解有机废气的方法。

  低温等离子体在降解过程中主要有以下几个步骤：

  (1)高能电子的作用下产生氧化性*的自由基O、OH、HO2;

  (2)有机物分子受到高能电子碰撞，被激发及原子键断裂形成小碎片基团或原子

  (3)O、OH、HO2与激发原子有机物分子、破碎的分子基团、自由基等一系列自由基反应。

  等离子体中的离子、电子、激发态原子、分子及自由基都是极活泼的反应性物种，使通常条件下难以进行或速度很慢的反应变得快速，它们再进一步与污染物分子、离子反应，从而使污染物得到降解，尤其有利于难降解污染物的处理。另外，由于活性离子和自由基气体放电时一些高能激发粒子向下跃迁能产生紫外光线，当光子或电子的能量大于半导体禁带宽度时，就会激发半导体内的电子，使电子从价带跃迁至导带，形成具有很强活性的电子空穴对，并进一步诱导一系列氧化还原反应的进行。