型号

LS-WPS150-TEC

LS-WPS200-TEC

LS-WPS300-TEC

外形

860mm长*

850mm宽*

700mm高

880mm长*

860mm宽*

750mm高

1400mm长*

920mm宽*

920mm高

重量

约150公斤

约170公斤

约250公斤

电力需求

220VC, 50~60Hz

样品台

尺寸

6英寸，可360度旋转

8英寸，可360度旋转

12英寸，可360度旋转

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12*12英寸

移动精度

1um

切换样品功能

样品台快速拉出

样品固定方式

真空吸附

电学运用

电学独立悬空，可作为背电极使用

针座平台

规格

O型平台，多可以放置8个针座

O型平台，多可以放置10个针座

O型平台，多可以放置12个针座

行程&调节方式

平台可以快速升降，行程6mm，并带自动锁定功能；可以上下微调，行程25mm，升降精度1um

温控特性

温度范围

-100~200℃

-80~200℃

-60~200℃

温控精度

温度分辨率：0.01℃

加热电源

LVDC低压直流

低控温速率

±0.1℃/小时

制冷方式

液氮制冷

光学特性

显微镜行程

X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm

切换镜头方式

显微镜气动升降

放大倍数

16~100X/20~4000X

镜头规格

目镜：10X;  物镜：5X,  10X,  20X,  50X,  100X （选配）

CCD像素

50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

机械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏电精度

10pA/100fA（配置屏蔽箱时）

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口

应用方向

高低温环境下，LD/LED/PD测试，PCB/封装器测试，射频测试等