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通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机，世界搭载了*非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现工作台最小驱动单位10纳米。
通过标准搭载高性能加工液冷却装置，维持稳定的超精密加工。
由于采用直线电机驱动方式，无需使用滚珠丝杠，避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外，通过在主要构造材料中采用陶瓷材质，保证了长期稳定的高精度。
| 各轴行程 X×Y×Z(mm) | 100 × 120 × 100 |
|---|---|
| U×V轴行程(mm) | 20 × 20 |
| 锥度加工控制角度 | ±6°(板厚：60mm) |
| 工件尺寸 宽×长×高(mm) | 150 × 150 × 60 |
| 工件质量(kg) | 10（包括夹具等） |
| 机床主体尺寸 宽×长×高(mm) | 2280 × 1830 × 1990 |
